据广发证券统计，8月国产半导体设备招标持续提升，积塔、中芯、华虹招标量居前。该月，统计样本中的晶圆产线上合计中标51台设备，以量测、刻蚀、清洗设备居多；国产设备整体中标比例约59%。2022年1-8月，统计样本中的晶圆产线合计中标871台设备，以沉积类、量测、热处理设备居多；国产设备整体中标比例约30%，其中，硅片再生、气液系统、PVD、湿法腐蚀、去胶设备的国产中标比例较高。

（文章来源：证券时报）